半导体及集成电路行业
SEMICONDUCTOR AND INTEGRATED CIRCUIT INDUSTRY
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高分辨率晶圆检测方案
晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形,所以称为晶圆(Wafer)。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。
在晶圆(Wafer)的检测中,通常需要高速检测,对分辨率要求也较高,对机器视觉硬件也有高要求,镜头需要通光量大,光源需要亮度高。

解决方案:
解析5um 
相机: Dasla 16k 5um
镜头:DTCA24K-75-AL
光源:红色线光
检测目标

? Wafer要求高分辨率及对通光量要求极高

? 匹配16K 5um/ 24k 3.5um相机

? 解析5um

? 高速运动,相机曝光时间极短,对镜头和光源要求高

视觉配置
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